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真空镀膜机扩散泵如何维修保养?

2024-03-11

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      真空镀膜机是在真空状态下运行镀膜,那么镀膜前期,真空镀膜机是采用机械泵,罗茨泵,扩散泵等配件来进行抽真空,才能达到工件镀膜需要的真空条件。那么既然是真空镀膜机的配件,日常维修和保养肯定少不了。下面8883新莆京app为大家详细介绍一下真空镀膜机扩散泵日常该如何维修保养。


真空镀膜机


一、扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通,停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。
二、扩散泵停止工作时,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。
三、被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。
四、扩散泵如暂时不用,保管期间应该保持真空状态,以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。
扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏,应定期检查。如:泵油是否减少或氧化,按相应要求加油或更换处理;零件及泵腔先用航空汽油清洗,然后用丙酮进行擦洗,并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后,按顺序进行装配,保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心,各级喷嘴间隙要按原要求调整好。
五、待水分挥发干以后装好泵芯,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。
七、在重新开机前,要注意检漏工作。方法是:启动维护泵,关好大门,数分钟后,观察真空度,同时检查连接处是否漏装密封胶圈,或者压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧坏,无法进入工作状态。
      真空镀膜机配件维修保养环节少不了,维修保养做的好,企业可以降本增效,降低故障率,提高效率,减少不必要的突发状况发生。
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